우리 공동실험실습관에 신규 도입된 분석 장비를 소개합니다.

 

▣ 장비명 : 광전자분광기, X-ray & UV Photoelectron Spectrometer

 

▣ 장비 사양

 

- 모델: NEXSA G2

 

- 제작사: Thermo

 

- 사양:

1. Microfocussed Monochromated X-ray source (Al anode)

2. UHV Analysis chamber (5×10-9mbar)

3. Mono-atomic and cluster ion source (Ar)

Monoatomic Mode (0.5 to 4 keV), Cluster Mode (2 to 8 keV)

4. Electron analyser : Spherical sector analyser, 128-channel detector

Pass Energy : 1 – 400 eV

Max. Sensitivity at 1 eV FWHM on Ag 3d5, at 400 μm : 6,500,000 cps

5. UV PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY (UPS)

Helium I (21.2eV)

Sensitivity in the Ag at 120 meV : 2,000,000 CPS

6. REFLECTED ENERGY ELECTRON LOSS SPECTROSCOPY (REELS)

Electron beam energy : 0 – 1,000 eV (REELS mode)

Sensitivity in the Ag at 0.5 eV FWHM : 1,000,000 CPS

7. ION SCATTERING SPECTROSCOPY (ISS)

He source

Sensitivity in the Au at 14 eV FWHM : 25,000 cps/nA

8. Sample holder

Maximum specimen dimensions : 60 x 60 x 20 mm

Sample Tilt : +, - 90 degree

Vacuum Transfer Vessel : Maximum specimen thickness(9 mm)

Heating option : Max. Heating Temperature(600℃)

 

▣ 분석 응용

 

• 화합물 표면의 정성 및 정량분석, 화학적 상태 규명

• Line scan, Mapping

• Depth profile, ARXPS

• UPS: Work function, Cut-off level. Fermi level 측정

• REELS: Band gap 측정

• ISS: semiconductor thin films, surface contamination

 

▣ 분석지원 문의 : 담당 배재연연구원 042-821-7373, bae1210@cnu.ac.kr

 

▣ 장비 세부 설명 및 자료 : 기기안내 바로가기[클릭] , 하단 장비 카탈로그 참고해주세요.

 

▣ 분석료 :

 

* Normal spectrum: 60,000원/시료 (1시간, 5원소 기준), 30,000원/시간초과, 7,000원/원소추가

* Powder: 15,000원/시료

* Peak fitting: 20,000원/피크

* XPS Depth profile: 150,000원/시료 (2시간, 3원소 기준), 30,000원/시간초과, 15,000원/원소추가

*AR XPS: 80,000원/시료 (1시간, 3원소 기준), 15,000/시간초과, 15,000원/원소추가

* Mapping: 80,000원/시료 (1시간, 3원소 기준), 15,000원/시간초과, 15,000원/원소추가

* UPS: 80,000원/시료

* REELS: 40,000원/시료

* ISS: 40,000원/시료

* REELS, ISS Depth profile: 100,000원/시료

* Ar etching: 22,000원/시료 (Monoatomic, Cluster mode 중 선택)

* 고온측정(온도별): 60,000원/온도 (RT~600℃)

 

많은 이용 바랍니다.

감사합니다.