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타원편광분석기
(Spectroscopic Ellipsometer)
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신규
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1-1. 분석료 :
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단층막
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다층막
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2D-Mapping
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Raw data
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30,000원/시료(1시간)
초과 시 15,000원/30분
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30,000원/시료(1시간)
초과 시 15,000원/30분
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60,000원/시료(1시간)
초과 시 30,000원/30분
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Raw data
+Modelling 의뢰자 직접
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50,000원/시료(1시간)
초과 시 25,000원/30분
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50,000원/시료(1시간)
초과 시 25,000원/30분
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80,000원/시료(시간)
초과 시 40,000원/30분
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Raw data
+Modelling 담당자
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80,000원/시료(1시간)
초과 시 40,000원/30분
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100,000원/시료(1시간)
초과 시 50,000원/30분
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120,000원/시료(1시간)
초과 시 60,000원/30분
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* n, k, Thickness의 경우 1 point 기준
* 2D-Mapping의 경우 13 points 기준
1-2. Focusing Light Beam(300㎛) 사용 시 : 분석료 + 10,000원
2-1. 직접사용 : 32,000원/시간
[초과 시 16,000원/30분]
2-2. Focusing Light Beam(300㎛) 사용 시 : 직접사용 + 10,000원
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