충남대학교 공동실험실습관

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신청가능 시간

월	화	수	목	금	토	일
09:00 - 18:00	09:00 - 24:00	09:00 - 24:00	09:00 - 24:00	09:00 - 24:00	X	X

[공지] XPS/UPS 분석 예약 및 의뢰 안내

1. 예약 안내

분석은 필수 예약 시간제로 운영이 바뀌었습니다. 직접 얘약날짜 지정하시여 예약해주시면 됩니다
(기존 예약사항은 예약된 대로 진행됩니다. 8/18일 예약부터는 필수 시간 지정으로 바꿉니다)
예약날짜에 맞춰 시료를 제출해 주시기 바랍니다.

2. 시료 제출

예약일 오전 9시까지 시료가 도착해야 예약 당일 분석이 진행됩니다.
분석 결과는 당일 또는 익일(다음 날) 제공됩니다.

3. 베큠홀더 사용

베큠홀더 사용 분석은 매주 화요일, 목요일에만 가능합니다.
예약 시 베큠홀더 사용 여부를 반드시 체크해 주십시오.
분석 전날 유선 연락 후 실험실을 방문하여 베큠홀더를 수령해 주시기 바랍니다.
베큠홀더 사용 시에는 Load Lock Chamber 진공 형성 시간이 추가되므로 예약 시간에 1시간을 추가하여 예약해 주십시오.

4. 시료 준비

시료 제작 후 가능한 한 빠른 시간 내 분석하는 것을 권장합니다.
예약 일정에 맞추어 시료를 준비해 주십시오.

권장 시료 크기

XPS : 약 10 × 10 mm 이하
UPS : 최소 15 × 15 mm 정도
Powder : 20 ~ 50 mg ( 바이얼에 넣어서 제출요망/ 지퍼백 안됨)

5. 장비 운영

UPS 분석은 NEXSA G2 장비로 의뢰해 주시기 바랍니다.

6. 의뢰 절차

공동실험실습관 홈페이지에서 장비 예약 및 신청서 작성
특이사항은 사전에 담당자와 협의

※ 신청서에는 분석 원소 및 분석 조건을 가능한 상세히 작성해 주시기 바랍니다.

7. 시료 발송

택배 발송 시 신청자와 발송인을 동일하게 해주시기 바랍니다.

주소
(34134) 대전광역시 유성구 대학로 99
공동실험실습관(W9) 510호 김은정

8. 문의

담당자 근무시간 : 08:00 ~ 16:00

전화 : 042-821-7373
E-mail : physisophia@cnu.ac.kr

※ 전화 연결이 어렵거나 근무시간 외 문의는 이메일로 연락해 주시기 바랍니다.

상세정보
Q&A
공지사항
예약현황

원리 및 특성

<관련자료> (동영상 및 사이트 링크)

** Find out how our XPS systems provide information about any element you investigate **

** Learn XPS (장비를 배우고 싶은 학생은 반드시 보세요, K-Alpha Compact XPS)

1. X-ray photoelectron spectroscopy_From Wikipedia

2. X-ray photoelectron spectroscopy(요약)

3. K-alpha+_XPS Understanding Surface Properties

4. XPS(Introduction)_Dr. Raj Kishore Sharma

5. XPS(Data analysis)__Dr. Raj Kishore Sharma

6. SnapMap Rapid Imaging for XPS Surface Analysis Systems

7. XPS peak fitting using Origin Pro

8. Structure of XPS Spectra

9. XPS 및 AES 데이터베이스 (www.lasurface.com)

10. XPS Reference Table Of Elements
11. k-alpha-brochure & Experiment step

- 본 장비 특징

본 장비는 XPS(X-ray Photoelectron Spectrometer)와 UPS(Ultraviolet photoelectron spectrometer)로 구성되어 있다.

- 광전자 분광기 원리

X선 광전자 분광법(XPS)은 초고진공(Ultrahigh vacuum) 챔버 내에서 시료의 표면에 특성 X-선(Monochromatic X-ray source)을 입사하고, 원자의 core level에서 방출하는 광전자의 에너지(1,000~1,500 eV)를 측정함으로써 시료 표면의 원소 조성 및 화학적인 결합 상태에 대한 정보를 얻을 수 있다. Charge neutralization을 시키는 flood gun을 사용하여 전도성이 없는 절연체에도 적용이 가능해서 도체 및 반도체 절연박막의 분석도 가능하며, 또한 Ar+ 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 따른 분포도를 측정할 수 있다.

그리고 UPS는 ultraviolet lamp(He)를 사용해서 시료 표면에 입사하고 원자 간의 결합영역인 가전자(valence electron) 영역의 전자 결합에너지(0~20 eV)를 측정한다. 결과적으로 화학 결합에 직접 참여하는 전자들이 고체 내에서 가질 수 있는 다양한 상태를 알 수 있다.

규격

Maker : Thermo scientific

Model : K-alpha+

1. Electron analyser with Lens system

- Type : Spherical sector analyser

- Mean diameter : 250mm

- Operation mode : CAE

- Min. energy step size : 3 meV

- Ultimate Energy resolution (of Ag 3d5/2 peak) : <0.5eV FWHM

- Ultimate spatial resolution : <30μm, by knife edge method

- XPS on Insulators : C 1s energy resolution (eV) : <0.85eV

- Pass Energy : 1 – 400 eV

- Analyser Housing : Mu-metal shielded

- Detector : 128-channel detector

- Max. Sensitivity at 1eV FWHM on Ag3d5, at 400 μm : 4,000,000 cps

2. Microfocussed Monochromatic X-ray source

- Anode material : Al anode

- Type : Microfocussed Monochromator

- Crystal alignment : by Computer controlled

- Source cooling : water cooling

- Safety inter lock : High voltage, coolant, Vacuum pressure & mechanical interlocks,

- Data system control of all X-ray source parameters

- Rowland circle : 250mm

3. UHV Analysis chamber

- Material : UHV compatible chamber

- Ultimate vacuum : 5×10-9mbar

- Pumping system :

Turbo-molecular pump : 260 l/s

Rotary vane backing pump

4. Ion source and power supply with gas admission unit

- Energy range : 100 eV to 4 keV

- Max. beam current : 4 μA at 3keV

5. Fast entry chamber with transfer mechanism

- Material : UHV compatible stainless steel

- Complete with sample transfer mechanism and vacuum gauges

- 260 l/s turbo-molecular pump

Rotary vane backing pump

- Automated specimen transfer mechanism controlled from data system

6. High precision manipulator

- High precision, automated specimen stage with internal stepper motors

- Maximum specimen dimensions : 60 x 60 x 20 mm

- Multi-specimen mounting plates : three

- Mounting plate for powder samples : One

- Rotation holders : One set of three

7. System Bench and Bakeout facility

- System Bench : Heavy duty steel bench

- Bakeout facility : without disconnecting cables etc. By heating tapes

8. Combined Low Energy Electron / Ion flood source for Charge Neutralization

- Type : dual-beam low energy electron / ion source

- Electron beam energy : 0 - 5 eV

- Electron beam emission : Up to 250 µA

- Useable gases for ion flood : Argon

9. VACUUM TRANSFER MODULE :

- Sample holder allowing samples to be transferred under vacuum into the system

- Maximum specimen thickness : 9 mm

10. UV PHOTOELECTRON SPECTROMETER (UPS)

- HIGH INTENSITY UV LAMP WITH AUTOMATED TWO-STAGE DIFFERENTIAL PUMPING

- Automated differential pumping shut-off valves

- Two separate high precision gas admission valves for Helium I / Helium II

- UV lamp power supply

- data system control interface

- SENSITIVITY in the Ag 4d peak at 120 meV energy resolution : 2,200,000 CPS

적용(응용)분야

• 화합물 표면의 정성 및 정량분석

• 화학적 상태 규명

• Depth profile

• Mapping

• ARXPS

• Valence band

사용료

분석의뢰

분석항목	단가	단위	할인	비고
Normal spectrum 측정	60,000원	시료	O	1시간, 5원소 기준
1시간 초과	30,000원	시간	O	Normal spectrum
원소 추가	7,000원	원소	O	Normal spectrum
powder	15,000원	시료	O
Peak fitting	20,000원	피크	O
Depth Profile	150,000원	시료	O	2시간, 3원소 기준
2시간 초과	30,000원	시간	O	Depth Profile
원소 추가	15,000원	원소	O	Depth Profile
AR-XPS	80,000원	시료	O	1시간, 3원소 기준
1시간 초과	15,000원	시간	O	ARXPS
원소 추가	15,000원	원소	O	ARXPS
Mapping	80,000원	시료	O	1시간, 3원소 기준
1시간 초과	15,000원	시간	O	Mapping
원소 추가	15,000원	원소	O	Mapping
UPS	80,000원	시료	O
Ar etching	22,000원	시료	O

○ 분석의뢰: 교내 이용자(33%), 타 대학 이용자(20%) 감면

○ 교내구성원 직접사용: 교내 감면 및 직접사용 추가 감면(20%)이 적용된 장비이용료 금액임

(단, 장비교육 이수 후 직접사용서약서를 제출한 자에 한함: 홈페이지-커뮤니티-서식자료실-직접사용자 관련 양식)

* 교외회원의 경우 실험사고보험 등을 학교 기관 및 정부에서 현재는 지원하지 않기에 장비 직접사용이 불가능합니다.

* 인증기관이 아니기에 시험성적서 발행은 불가합니다.

교내구성원 직접사용

분석항목	단가	단위	할인	비고
기기사용료	32,000원	시간	X