충남대학교 공동실험실습관

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[XRD 분석 절차]

1. 홈페이지 장비 예약, 실험요구조건 작성 후

2. 샘플은 준비가 완료되는대로 보내주시면 됩니다.

( 화재의 가능성이 있거나 인체에 해를 입을 수 있는 샘플은 꼭 담당자와 사전에 협의 해야합니다. )

분석은 시료를 전달받은 날로부터 3주정도 소요됩니다.

시료 준비 방법은 아래의 Q&A를 확인해주세요.(*필독*)

원리 및 특성

고출력 박막용 엑스선 회절분석기는 높은 출력을 이용하여 일반 코팅층 및 다층막 시료에 대한 분석뿐만 아니라 반도체 극박막에 대한 유효한 분석이 가능하며, 고분해능 분석(HR-XRD)에도 대응이 가능하다.

규격

1. X-ray output : 9kW

2. X-ray target : Cu target

3. Goniometer radius : 300mm

4. Slit system : automatic variable slit

5. Anti-scattering unit ; Scattering protector

6. Hybrid Detector (1D & 0D)

1) Active area : 384mm²

2) No. of channel : 256 ch.

적용(응용)분야

목적하는 시료에 엑스선을 조사하여 시료로부터 회절된 엑스선을 검출하여 시료의 결정구조 정보를 분석 가능한 기기로, 하기와 같은 분석에 활용된다.

1. 박막 시료에 대한 결정상 및 함유량 분석

2. 반사도(XRR, X-Ray Reflectivity) 측정에 의한 박막층 피팅

3. 로킹커브(Rocking Curve) 측정에 의한 결정도 평가

4. 웨이퍼(Wafer) 및 에티막(Epi-layer)에 대한 tilt-angle 분석

5. 다층막 분석

사용료

분석의뢰

○ 분석의뢰: 교내 이용자(33%), 타 대학 이용자(20%) 감면

○ 교내구성원 직접사용: 교내 감면 및 직접사용 추가 감면(20%)이 적용된 장비이용료 금액임

(단, 장비교육 이수 후 직접사용서약서를 제출한 자에 한함: 홈페이지-커뮤니티-서식자료실-직접사용자 관련 양식)

* 교외회원의 경우 실험사고보험 등을 학교 기관 및 정부에서 현재는 지원하지 않기에 장비 직접사용이 불가능합니다.

* 인증기관이 아니기에 시험성적서 발행은 불가합니다.

교내구성원 직접사용

분석항목	단가	단위	할인	비고
기기사용료	50,000원	시간	X
1시간 초과	25,000원	30분	X